天津某半导集成ic激光加工制作厂，晶圆激光加工时中所产生含硅、氟的特种生活污水，设计的概念办理建设规模1200吨/日。生活污水成分表繁多，具有纳米级级硅颗粒剂及氢氧化钠，以往办理手段不易合格。 生产废水有效成分及因素 关键空气环境有害特性 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm比表面积）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 从何而来流程 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP电化学机械抛光剂生活污水（40%）、机械擦拭水（15%） 处里加工过程具体流程 不断创新利用"化工放置+重型膜剥离"技能路经： 钙盐沉定 ：添加氯化钙清理氟阴离子（提取CaF2沉淀物中） 水解酸化池作用 ：黏结二沉池剂满足溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜挤占微细科粒 反融于设计 ：脱盐率>98%，回报率75% 汽化析出 ：浓水段实现了氟化物零产生 以后功效 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（低过政府特一级原则10mg/L） 硅成分：<5mg/L 有限水源共享回收利用率：70%于冷却后塔保湿 危废处理减轻：蒸馏杂质量较传统化的工艺减低60%