该厂为89英寸晶圆生产销售线设备配套的超净水程序，每一天造成含硅废水治理150吨。废水治理中虽无天价属，但硅量高易结渣，且电阻器率需实现18MΩ·cm能力中水回用。改变治工院艺是无法足够新废止的《自动化鑫霖环保水造成的废水排放出口标淮》（GB39731-2020）特别的排放出口允许值。 废污水组分优缺点 主要是被污染的物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、科粒硅（颗粒直径0.1-1μm） 特色必须 ：TOC<10μg/L，硼含磷量<5μg/L 水的硬度因素 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物性状冗杂 处里鑫霖环保标准流程 的创新采用了"梯级膜分离法+电去阳离子"组合成生产技术： 微滤预处里 ：1μm瓷器膜屏蔽大粉末硅，通量达到80LMH 铝离子互相交换环氧树脂 ：D201大孔硅橡胶选购性离心分离硅酸原子 二级考试RO机系统 ：第1段回收并率60%，第十二段选取高脱硼膜元器件 EDI电去铝离子 ：电流值溶解度2A/m²，连续出掉的残留物铝离子 紫外光消毒 ：254nm紫外光线分子量40mJ/cm² 技術工作亮点 开发技术常用阻硅剂（有机酸胺类和好物），廷缓膜空气污染时间间隔3倍 EDI组件去创新流道制作，硅洗去率增强至99.8% 在线视频硅深入检测仪（精确测量区间0.1-500μg/L）实现了靶向有效控制 使用成果 经三是方检查测量： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼的含量从8μg/L下降0.3μg/L 系统软件回收并率从原40%提高了至68% 膜调整时期缩短至5年，年操作的成本消减35%